upnm/sps-lj-1601型蓝宝石基片cmp浆料是山东银丰纳米新材料有限公司生产的水溶性高纯度cmp浆料,具有粒径分散度低、稳定性好、浓度高、可循环使用等特点, 用于蓝宝石基片软抛加工工艺,能够实现晶片移除率高,表面平整度高、粗糙度低,表面无麻点、腐蚀坑等微缺陷,多项参数达到国际水平。upnm/sps-lj-1601型cmp浆料为2016年新开发的产品,主要以速率稳定性好,表面质量高为优势。该产品用于蓝宝石加工的一步抛光工艺,目前已经在多家蓝宝石加工厂家批量使用,客户反馈其用于蓝宝石基片表面高质量平整化加工,表面质量符合工业生产的要求,能够达到较好的加工效果。
主要特点
upnm/sps-lj-1601型蓝宝石基片cmp浆料采用我公司自主合成生产的高纯纳米sio2水溶胶作为磨料,具有生产自动化高,稳定性好的特点。cmp浆料生产过程中采用自动化配制,辅料的添加采用高精度流量计控制,全方位立体搅拌,两层折叠滤芯过滤,自动灌装包装的生产配制方法,因此产品金属杂质极少、易清洗、无毒无污染,使用中产品移除率高、损伤层小、平整度高,避免晶片出现划伤。upnm/sps-lj-1601型cmp浆料中加入了特有的抛光促进剂以及活性物质,能够在cmp过程中保证质量传输的一致性,提高抛光效率。cmp过程中根据需要可以优化不同配比,均能达到优秀使用效果,与国内外同类产品相比,该产品在抛光过程中具有无结晶,划伤少,可以循环使用等特点。
主要用途
主要用于2、4、6英寸蓝宝石衬底片的高质量平整化精加工工艺。
基本参数
ph值 比重 粘度(mpa.s,25℃) 平均粒径(nm) 含量(%) sio2% 外观
>9 >1.2 <10 100~120 <0.3 >30 乳白色
使用方法
upnm/sps-lj-1601型蓝宝石cmp浆料建议和去离子水的配比为1:1-5,也可根据实际要求改变配比。
cmp浆料 led蓝宝石衬底抛光液
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- upnmps-lj-1601
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